透射电镜/扫描电镜离子束制样系统
型号：DB500 厂商：国仪量子
设备参数： 1.离子束系统
离子源：液态镓离子源；分辨率：≤3 nm @ 30 kV；探针电流：1 pA~50 nA；加速电压：1~30 kV；
2.电子束系统
电子枪：肖特基场发射电子枪；分辨率：≤1.7 nm @ 1 kV；加速电压范围：20 V～30 kV ；束流大小：1pA～20 nA；
主要用途：1.高质量的定点TEM/SEM样品制备
2.通过截面切割，对截面进行观测和分析
3.通过连续交叉切片在纳米分辨率下采集高质量的3D数据集，实现对样品的三维成像和三维分析