感应耦合等离子体刻蚀机（ICP）
型号：ICP-800iPB
厂商：Samco.Inc.
设备性能：
（1）BOSCH型ICP线圈，内径
220mm；兼容6寸、8寸晶圆；
（2）下电极ESC静电吸附卡
盘，基片背面采用氦气冷却机构，温度控制范围：-20℃~40℃，控温精度±0.1℃；
（3）配备2套射频电源，自动匹配，
ICP电源功率不低于5000W，Bias功率不低于1000W；
（4）配备5路工艺气体：SF6，C4F8，
O2（50sccm），Ar，O2（500sccm）；带MFC，控制精度<1%满量程；
（5）传送室配置直线式真空机械
手，可直接传送4”、6”、8”样品；
设备功能：
全自动感应耦合等离子体刻蚀机具有三种功能：等离子体刻蚀(PE)、反应离子刻蚀(RIE)、感应耦合等离子体刻蚀(ICP)。本设备主要用于微电子、光电子、通讯、微机电等领域的器件研发和制造。